Vraag van Aisa-klant
We hebben vanochtend een offerte ontvangen via onze bedrijfswebsite, de klant komt van de Aziatische markt en hij is geïnteresseerd in ons product met betrekking tot hoogzuivere molybdeen radiofrequentie (RF) sputterdoelen.
De productspecificatie van de klant is een molybdeenmetaaldoel met een diameter van 50,8 mm (2 inch), 5 mm dik en een zuiverheid van 99,95% (3N5).
De vorm van het molybdeensputterdoel waar hij om vroeg, is een plat rond molybdeendoel, het is de meest voorkomende vormvorm van ronde molybdeendoelen.
En zijn verzoek om vlakheid was een vlakheid van minder dan of gelijk aan 0,05 mm, en hij heeft ook een gladde oppervlaktebewerking nodig die geschikt is voor RF-magnetronsputteren; en geen scheuren, poriën op het oppervlak of oxidatie zoals gevraagd.
Welke pure molybdeen-doelproducten kunnen we aanbieden?
• Zuiverheid: 3N5 (99,95% zuiverheid) - 4N (99,99% zuiverheid)
- Mo1: groter dan of gelijk aan 99,95% Mo (3N5), voornamelijk gebruikt voor de industrie, zoals beeldschermen/fotovoltaïsche zonne-energie/algemene coating
- Mo2: groter dan of gelijk aan 99,9% Mo (3N), hoofdgebruik voor kosten-effectief, voor algemene coating-/decoratieve films
- Mo3: groter dan of gelijk aan 99,5% Mo (2N5), op grote schaal gebruikt voor low--/onderzoekstoepassingen
- Hoge zuiverheid/ultrahoge zuiverheid (4N molybdeen: 99,99%), voornamelijk gebruikt voor halfgeleiders/OLED/hoge-precisiefilms
Fundamentele fysieke eigenschappen (meest kritieke)
• Dichtheid: 10,2 g/cm³ (theoretisch), weinig poriën, niet gemakkelijk te produceren 'poederspuiten' en abnormale ontlading (boog)
• Smeltpunt: 2620 graden, extreem thermisch stabiel; en niet gemakkelijk vervormd tijdens sputteren met sterke hechting.
• Thermische geleidbaarheid: 138–142 W/(m·K), snelle warmteafvoer en goed voor sputteren met hoog-vermogen
• Thermische uitzettingscoëfficiënt: ~4,9×10⁻⁶/graad, zeer laag en kan resulteren in minimale thermische schokken en dimensionale stabiliteit
• Weerstand: ~5,2 μΩ·cm, zeer goede elektrische geleiding en stabiele vonkvorming
• Treksterkte ~540 MPa
. Vickers-hardheid ~250 HV, met bepaalde ductiliteitsproces- en dunne-filmvoordelen
• Doelkorrels 50–100 μm, wat zorgt voor uniforme sputtererosie en minimale deeltjesafscheiding
De normale maattolerantie voor ons product varieert als volgt afhankelijk van de verschillende diameters
| Diameter | Dikte |
| φ25.4(1") | 2/3 |
| φ50.8(2") | 3/5 |
| φ76.2(3") | 3/4/5 |
| φ101.6 | 4/5/6 |
| φ150 | 5/6/8 |
| φ200 | 6/8/10 |
Let op: φ300 - dikte 8/10/12 mm, of aangepast.
Maattoleranties (GB/T 14592-2014 + industriestandaard)
| Diameterbereik | Diametertolerantie (mm) |
| φ10-30 | ±0.10 |
| φ30-50 | ±0.14 |
| φ50-80 | ±0.16 |
| φ80-300 | ±0.20 |
Please note : >φ300: ±0,30 (bespreekbaar)
Vorm- en positietoleranties (belangrijk, cruciaal, van invloed op de sputteruniformiteit)
•Molybdeenschijfvlakheid: kleiner dan of gelijk aan 0,03 mm/100 mm (hoog-einde); Kleiner dan of gelijk aan 0,1 mm/100 mm (standaard)
• Rondheid: kleiner dan of gelijk aan 0,05 mm
• Parallellisme: kleiner dan of gelijk aan 0,05 mm
Zuivere molybdeen oppervlakteruwheid
• Standaard: Ra Kleiner dan of gelijk aan 0,8 μm
• Hoog-End: Ra kleiner dan of gelijk aan 0,4 μm (halfgeleider-/hoge uniformiteitsvereisten)
Veelgestelde vragen
Behalve Molybdeen-sputterdoel dat u kunt leveren, kunnen andere materialen dat ook doen?
Ja, we hebben wolfraam, molybdeen, titanium, tantaal, niobium, zirkonium, nikkel enz. Non-ferrometalen.
