Hoe essentieel ismolybdeenstaven voor de halfgeleiderindustriedimensionale stabiliteit?
In werkplaatsen voor de groei van monokristallijn silicium of saffier duurt het kristaltrekproces vaak tientallen of zelfs honderden uren, en het temperatuurveld moet nauwkeurig worden gecontroleerd boven de 1400 graden. Zodra de thermische veldcomponent een vervorming heeft van zelfs maar 0,5 mm, kan de diameter van het kristal fluctueren, kan de dislocatiedichtheid toenemen en zal de opbrengstsnelheid direct worden verlaagd. De grootste hoofdpijn voor veel ingenieurs is niet een plotselinge breuk, maar de "onzichtbare" kruip en hitteaccumulatie.
Onder hen worden molybdeenstaven gebruikt als de structurele kernmaterialen van thermische veldsteunstaven, zaadkristalklemmen of verwarmingscomponenten, en hun dimensionele stabiliteit bij lage- hitte en hoge- temperatuur is een doorslaggevende factor geworden. De thermische coëfficiënt van molybdeen zelf is erg laag, maar de prestaties van molybdeenstaven met verschillende zuiverheden en verwerkingstechnologie variëren sterk bij langdurige hoge temperaturen en vacuüm. Gewone gesinterde molybdeenstaven zijn gevoelig voor micro-rek veroorzaakt door korrelgroei na herhaalde thermische cycli, terwijl hoog-zuivere molybdeenstaven die multi-directioneel smeden en hoge- temperatuurgloeien hebben ondergaan, een meer uniforme korreloriëntatie hebben en een aanzienlijk verbeterde kruipweerstand. De cumulatieve vervorming wordt binnen een zeer klein bereik gecontroleerd.
We gebruikten een fabriek die 15-inch saffierkristalstaven maakte. Vroeger werden conventionele steunstaven van molybdeen gebruikt. Het thermische veld moest elke paar getrokken kristallen worden gekalibreerd en het rendement schommelde rond de 65%. Later, na het vervangen van de molybdeenstaaf van halfgeleiderkwaliteit door onze geoptimaliseerde korrelstructuur, werd de continue trektijd in een enkele oven verlengd, werd de thermische veldfluctuatie aanzienlijk verminderd, werd de diameterconsistentie van het voltooide kristal verbeterd en werd de totale opbrengst met bijna 15 procentpunten verhoogd. Minder vervangingen van componenten en minder aanpassing van parameters zorgen niet alleen voor kostenbesparing, maar ook voor stabiliteit van het productieritme.
Waarom is dit punt zo cruciaal? Omdat de groei van halfgeleiderkristallen een typisch proces is van "langzaam werk en fijn werk", zal elke kleine drift door de temperatuurgradiënt worden versterkt en uiteindelijk worden weerspiegeld in kristaldefecten. Hoogwaardige molybdeenstaven minimaliseren het risico op deze drift, waardoor procesingenieurs zich met meer vertrouwen kunnen concentreren op de gietsnelheid en controle, in plaats van zich zorgen te hoeven maken over structurele vervorming.
In de huidige snelle fase van grote -kristallen en halfgeleidermaterialen van de derde- generatie zullen de vereisten voor de stabiliteit van apparatuur alleen maar hoger en hoger worden. Een molybdeenstaaf zonder verschil op het oppervlak kan in feite bepalen hoeveel gekwalificeerde wafels er elke maand worden geproduceerd.
Als u onderhoud aan apparatuur voor enkelvoudige-kristalgroei, een upgrade van het thermische veld of de selectie van nieuwe projecten uitvoert, kunt u mij vertellen over de stabiliteit van het thermische veld of de kristalproblemen waarmee u momenteel te maken krijgt. We kunnen de specifieke temperatuurcurve en apparatuurstructuur combineren om gerichter molybdeenstaafmateriaal en verwerkingssuggesties te geven om de "onzichtbare" verborgen gevaren van vervorming volledig te beheersen.
Stabiliseer het thermische veld en het kristal zal op natuurlijke wijze goed groeien.-Dit is de focus van onze investering in halfgeleider-molybdeenstaven.
Ava
